ISLANDIA, New York, 2 Ekim 2025 – Festo, kritik yonga işleme ve işleme odaklı, yarı iletken üretimi için bağlantılı bir iş akışı sergiledi. Şirketin en son uygulama sergisi, yenilikçi otomasyon bileşenlerinin yonga üretiminde hassasiyeti, verimliliği ve güvenilirliği nasıl artırdığını gözler önüne seriyor.

Merkezi Hub: Wafer İşleme ve Hizalama

Festo'nun yeni gösterisinin merkezinde, yarı iletken gofret yolculuğunu başlatan merkezi bir merkez modülü yer alıyor. Ters bir portal sistemiyle donatılan bu merkez, gofret alma ve aktarma için geleneksel SCARA robotlarına uygun maliyetli bir alternatif sunuyor. Portal, gofretleri Önden Açılan Birleşik Kapsüllerden (FOUP'lar) (özel taşıma konteynerleri) alıp hızlı ve hassas bir şekilde taşıyarak depolamadan üretim hatlarına hızlı ve güvenilir bir aktarım sağlıyor.

Portal, gofret tutma ve mikron altı hizalamayı tek bir kompakt cihazda birleştiren devrim niteliğinde bir araç olan gofret hizalayıcı ile entegre edilmiş benzersiz bir gofret uç efektörüne sahiptir. Bu, sistem karmaşıklığını azaltırken, gofretlerin bir sonraki işlem aşamasına geçmeden önce hassas konumlandırmayı garanti eder.

Kimyasal İşleme ve Kaplama

Merkezi hub işleme işleminden sonra, gofretler ıslak kimyasal prosesleri simüle eden Modül 1'e yönlendirilebilir. İş akışı, gofretlerin maruz kalmasından önce kontaminasyonsuz bir ortam sağlamak için Festo'nun Kütle Akış Kontrolörleri (MFC'ler) kullanılarak FOUP temizleme ile başlar.

Daha sonra gofretler, Festo'nun elektrikli doğrusal eksenlerle eşleştirilmiş "geri emiş" çözümünün gofret yüzeyleri boyunca hassas nozul hareketi sağladığı bir kaplama istasyonuna yüklenir. Bu sistem, homojen kimyasal birikim sağlayarak atığı en aza indirir ve ürün kalitesini artırır.

Vakum İşleme ve Mikro Konumlandırma

Alternatif olarak, gofretler, kuru aşındırma gibi vakum tabanlı işlemlerin gösterildiği Modül 2'ye aktarılabilir. Burada Festo teknolojisi, yarık ve sürgülü vanaların nazikçe açılıp kapanmasını kontrol ederek, gofretlerin vakum odalarına sorunsuz bir şekilde girmesini sağlar.

Haznenin içinde, pnömatik kaldırma pimleri, gofretleri dikkatlice mandrenlere yerleştirir. Gösteride ayrıca, odak halkalarını mikron düzeyinde hassasiyetle yerleştirebilen pnömatik bir mikro konumlandırma sistemi de vurgulanarak, gelişmiş yarı iletken üretimi için gereken hassas kontrolün sergilenmesi sağlanır.

Yarı İletken Mükemmelliği için Bağlantılı İnovasyon

Bu birbirine bağlı gösteri, Festo'nun maliyet açısından verimli portallardan entegre hizalayıcılara ve hassas akışkan kontrol sistemlerine kadar bileşenlerinin, modern yarı iletken üretiminde verimi, doğruluğu ve güvenilirliği artırmak için nasıl uyum içinde çalıştığını vurguluyor.

Festo, hem ön uç hem de arka uç süreçleri için kritik bileşenler ve çözümler sağlayarak yarı iletken endüstrisinde önemli bir rol oynamaktadır. Sunduğu hizmetler arasında şunlar yer almaktadır:

• Nazik, hassas gofret kullanımı
• Yüksek verimli azot (N₂) temizleme sistemleri
• Temiz oda uyumlu bileşenler
• Dijitalleşme, yapay zeka destekli süreçler ve öngörücü bakım
• Sektör lideri eğitim ve iş gücü geliştirme programları

Daha fazla bilgi için Festo'nun web sitesindeki "Çözümler" açılır menüsünün altında bulunan yarı iletken çözümleri sayfasını ziyaret edin veya bir Festo satış temsilcisi veya dağıtım ortağıyla iletişime geçin.